槽式RCA清洗设备

  技术特点  Features  

· 产能：400片/批，
，，9600片/小时（210硅片）,480片/批
，，12000片/小时（182硅片）。
。

· 支持多种添加剂技术。。。

· 支持最薄120μm硅片。。。

· 洁净区域干燥，，，，自洁净系统
。。

· 快速换液，
，，在线换液。
。

· 支持MES、
、
、RFID及选配在线称重功能。。。。