16腔单晶圆水平电镀量产设备
16腔单晶圆水平电镀量产设备
技术特点 Features
· 片内均匀性：＜4%，，，，片间均匀性：＜3%，，，重复性：＜3%，，，COP：＜10µm。。
· 90%部件本土化，，本地软件团队，，，有独立的设计和专利。。。
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4腔单晶圆水平电镀工艺设备
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晶圆擦洗设备（刷片机）
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