技术特点 Features
· 产能：600片/批，，，14400片/小时（210 硅片）；720片/批，，，17280片/小时（182硅片）。。。
· 工艺槽循环量可调。。
· 制绒金字塔均匀，，，，刻蚀深度可调。。。。
· 支持最薄120μm 硅片。。。。
· 洁净干燥区域，，，自洁净干燥系统。。。
· 低H2O2 消耗。。。
· 快速换液，，，在线换液。。
· 支持MES、、、、RFID 及选配在线称重功能。。。。
